微细加工与微纳加工技术及应用=Micro machining and micro-nano machining technologies and applications/赵波，李伯民，李清等编著
| 文献条码 | 索书号 | 状态 | 所属分馆 | 所在馆 | 馆藏地点 | 架位号 | 单价 | 套价 | 入库日期 | 操作 |
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| 订购年份 | 验收类型 | 验收期数 | 验收数量 | 验收日期 |
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| 未找到数据 | ||||
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210 __ ■a北京■c化学工业出版社■d2021
215 __ ■a214页■c图，照片■d26cm
330 __ ■a本书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
510 1_ ■aMicro machining and micro-nano machining technologies and applications■zeng
606 0_ ■a特种加工■x技术
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701 _0 ■a赵波■9zhao bo■4编著
701 _0 ■a李伯民■9li bo min■4编著
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